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等离子清洗机GDR-30PR

[所属分类:小型等离子清洗机] [发布时间:2020/4/22] [发布人:admin] [阅读次数:] [返回]
>> 产品特点
   台式小型机,PLC人机自动控制,内部无电极,用于低污染及高洁净材料表面清洗、刻蚀、活化等工艺。
>> 技术参数    
 ◆ 设备外形尺寸
    630(W)×650(D)×420(H)mm
 ◆ 仓体结构(合金铝,约30升)  
    290(W)×290(H)×360(D)mm
 ◆ 放电电极(内置电容耦合电极)
    180(W) ×210(D) mm
 ◆ 等离子发生器(韩国KM)
    频率13.56MHZ,功率0-300W连续调节,自动阻抗匹配
    可选择40KHZ中频等离子发生器(0-300W)
 ◆ 控制系统
    触摸屏(7寸)+PLC单步法全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,  并具有手动、自动两种模式
 ◆ 真空系统
    德国莱宝(Leybold)真空泵   D16C (20m3/h)
    SMC截止阀、充气阀,德国(Inficon)压力传感器
 ◆ 压力控制
    PID闭环自动稳压控制
 ◆ 气路系统
    2路工艺气体配置,电子质量流量计、针阀,美国飞托克(FITOK)气体管路
>> 相关应用   
  - 光刻胶清洗 
  - 表面改性